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마그론은 새로운 기술과 안정된 고품질로 귀하의 사업에 최상의 도움을 드리겠습니다.

가스&분진차폐용

  • 자성유체 sealing에 사용되는 자성유체 제품입니다.
  • 자성유체와 자석에 의해 O-ring을 만들어 sealing 작용을 하는 비접촉 seal입니다.
  • 마찰없이 설비의 내구성을 향상시키며 극 고진공 상태에서 유해가스 및 분진을 차단합니다.
  • 1유해가스 및 분진 완벽 차단
  • 2극 고진공 상태 유지
  • 3내구성 향상
  • 4다양한 적용 분야

적용영역

- Ion Implant Systems , CVD, 유기 EL, Sputter, 이온주입기, X선 발생장치, 웨이퍼 반송용, LCD 반송용, Plasma Etching Systems, 광 가속장치, HID Lamp, Automobile HID Lamp Manufactur-ing Process, CD RW

피드쓰루 분해도 및 작동 원리

  • 부식성 가스용 (For Corrosive gas)

    Item Base Oil Saturation Magnetizati
    on    		 Viscosity Vapor Pressure Torr- L/s Helium gas leak Weight loss start Temp.(TGA) Decompositi
    on Temp.(DTA)    		 Pour point Density
    Model Gauss mPa.sec (cP) at 27℃ Pa. at 20℃ Torr mmHg. at 20℃ Less than 1E-11 ℃ ℃ ℃ g/cm3
    MFF-R68 Perfluoro Polyther 600 8,500 1E-14 1E-16 Ok 120 >400 -30 2.25
    MFF-R55 500 5,000 1E-12 7.5E-15 Ok 120 >400 -30 2.2
    MFF-R43 450 2,800 1E-12 7.5E-15 Ok 120 >400 -30 2.17
    MFF-R42 400 2,000 1E-12 7.5E-15 Ok 120 >400 -30 2.14
    MFF-KC5 500 <100,000 1E-14 1E-16 Ok 190 >400 -20 2.20
    MFF-M58 550 8,500 2E-9 1.5E-11 Ok 200 >400 -5 2.27
    MFF-M45 400 5,000 2E-9 1.5E-11 Ok 200 >400 -5 2.17

  • 비부식성 가스용 (For Non-Corrosive gas)

    Item Saturation Magnetization Viscosity Vapor Pressure Torr- L/s Helium gas leak Weight loss start Temp.(TGA) Decompositi
    on Temp.(DTA)    		 Pour point Density
    Model Gauss mPa.sec (cP) at 27℃ Pa. at 20℃ Torr mmHg at 20℃ Less than 1E-11 ℃ ℃ ℃ g/cm3
    MFS-790 730 9,000 1E-9 7.5E-12 Ok 200 390 -40 1.50
    MFS-630 600 2,200 1E-7 7.5E-10 Ok 200 390 -40 1.39
    MFS-513 500 900 1E-7 7.5E-10 Ok 200 380 -40 1.31
    MFS-407 400 500 1E-7 7.5E-10 Ok 200 380 -40 1.21
    MFH-420 440 150 1E-7 7.5E-10 Ok 160 370 -40 1.22
    MFH-503 500 210 1E-7 7.5E-10 Ok 160 370 -40 1.30
    MFH-660 620 650 1E-7 7.5E-10 Ok 160 370 -40 1.39
    MFH-830 770 3,000 1E-9 7.5E-12 Ok 160 370 -40 1.52
    MFA-830 850 2,900 4E-8 3E-10 Ok 120 350 -10 1.68
    MFA-808 780 800 4E-8 3E-10 Ok 120 350 -10 1.52

  • 비부식성 가스용(구리스) (Grease type (Not Liquid) For Non-Corrosive gas)

    Item Saturation Magnetization Vapor Pressure Torr- L/s Helium gas leak Weight loss start Temp.(TGA) Decompositi
    on Temp.(DTA)    		 Pour point Density
    Model Gauss Pa. at 20℃ Torr mmHg at 20℃ Less than 1E-11 ℃ ℃ ℃ g/cm3
    MFG-50 500 1E-10 7.5E-13 Ok 100 >400 -90 1.4

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